Antireflexionsfilm für einen Halbleiter mit Kondensationspolymeren und Verfahren zur Herstellung einer Fotoresiststruktur

EP1757986 Art B1 14. Mai 2014

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1757986
Aktenzeichen: EP05728797
Anmeldetag: 6. April 2005
Veröffentlichung: 14. Mai 2014
Erteilung: 14. Mai 2014
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/11C08L79/04C09D163/00C09D179/04H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von