Harzzusammensetzungen zur Miniaturizierung des Abstands zwischen Harzmustern und Verfahren zu deren Verwendung

EP1757990 Art B1 9. Oktober 2013

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1757990
Aktenzeichen: EP05743737
Anmeldetag: 24. Mai 2005
Veröffentlichung: 9. Oktober 2013
Erteilung: 9. Oktober 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/40H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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