Bearbeitungsanlage modularen Aufbaus für flächige Substrate
EP1758160
Art B1
6. Mai 2015
Anmelder: ASYS AUTOMATIC SYSTEMS GMBH & CO. KG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1758160
- Aktenzeichen
- EP06016295
- Anmeldetag
- 4. August 2006
- Veröffentlichung
- 6. Mai 2015
- Erteilung
- 6. Mai 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/677H01L21/00B65G49/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASYS AUTOMATIC SYSTEMS GMBH & CO. KG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Vertreten von
Müller, Gottfried
Schorndorf, Deutschland
121
Patente gesamt
16
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Wittner, Walter
NoneSchorndorf