Substratlagerbehälter und Verfahren zur Positionieruing des Behälters
EP1758161
Art B1
1. August 2012
Anmelder: SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1758161
- Aktenzeichen
- EP05734662
- Anmeldetag
- 19. April 2005
- Veröffentlichung
- 1. August 2012
- Erteilung
- 1. August 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/673
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Polymer
Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. ist ein japanischer Hersteller von Kunststoff- und Elektronikkomponenten mit Sitz in Tokio, Teil des Shin-Etsu-Chemical-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Verpackungstechnik, ergänzt um Kunststofftechnik und Fertigungstechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.
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Fachgebiete
Vertreten von
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Wiesbaden, Deutschland
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Mai Besier · Wiesbaden
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Luderschmidt, Schüler & Partner · Frankfurt