System und Verfahren zur Entfernung von Verunreinigungen

EP1758669 Art B1 16. Oktober 2013

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1758669
Aktenzeichen
EP05856790
Anmeldetag
7. Juni 2005
Veröffentlichung
16. Oktober 2013
Erteilung
16. Oktober 2013
Rechtsraum
EP
IPC
B01D53/04B01D46/12F24F3/16
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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