Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung, Maske und Vorrichtung
EP1760525
Art A1
7. März 2007
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1760525
- Aktenzeichen
- EP06254291
- Anmeldetag
- 18. August 2006
- Veröffentlichung
- 7. März 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/00G03F7/20G03F9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Doolaar, Frans
Enschede, Niederlande
69
Patente gesamt
18
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Van den Hooven, Jan
NoneVeldhoven
-
Leeming, John Gerard
NoneLondon