Isolierender Werkstoff für Sputtertarget, Verfahren zu dessen Herstellung, isolierender Film aus einem komplexen Oxid und Vorrichtung

EP1760768 Art A1 7. März 2007

Anmelder: Seiko Epson Corporation, SEIKO EPSON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1760768
Aktenzeichen
EP06018099
Anmeldetag
30. August 2006
Veröffentlichung
7. März 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/203C23C14/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Seiko Epson Corporation
SEIKO EPSON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Epson

Japanisches Unternehmen, das Drucker, Scanner, Projektoren sowie Uhrwerke und Sensortechnik entwickelt und herstellt.

7.310 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Hoffmann, Eckart, Dipl.-Ing Gräfelfing, Deutschland
933
Patente gesamt
27
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Nachrichtentechnik & Telekommunikation Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Software & Datenverarbeitung Elektronik & Schaltungstechnik Akustik, Musik & Datenspeicherung
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