Trockenätzgase und Verfahren zum Trockenätzen
EP1760769
Art A1
7. März 2007
Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Zeon Corporation, ZEON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1760769
- Aktenzeichen
- EP05743293
- Anmeldetag
- 30. Mai 2005
- Veröffentlichung
- 7. März 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Zeon Corporation
ZEON CORPORATION - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.
147 Patente in unserer Datenbank
🇯🇵
Zeon
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Zeon Corporation entwickelt synthetische Kautschuke, Spezialchemikalien und Elastomere für Anwendungen in Automobil-, Elektronik- und Batterieindustrie.
2.552 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Albrecht, Thomas
München, Deutschland
2.528
Patente gesamt
31
Fachgebiete
19
Anmelder-Länder
Schwerpunkte