Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung von Anorganischen Halogeniden und Oxidhalogeniden unter Verwendung von Zeolithen
EP1761460
Art A2
14. März 2007
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1761460
- Aktenzeichen
- EP05725268
- Anmeldetag
- 10. März 2005
- Veröffentlichung
- 14. März 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C01B33/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Vertreten von
Gambell, Derek
Sevenoaks, Großbritannien
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