Immersionsphotolithographiesystem
EP1761824
Art A2
14. März 2007
Anmelder: Edwards Limited, The BOC Group plc 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1761824
- Aktenzeichen
- EP05755149
- Anmeldetag
- 22. Juni 2005
- Veröffentlichung
- 14. März 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Edwards Limited
The BOC Group plc - Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧
Edwards Limited
Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.
524 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Clark, Charles Robert
West, Großbritannien
370
Patente gesamt
23
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Booth, Andrew Steven
NoneWest