Verfahren zur Herstellung eines Polierkissens zum chemisch-mechanischen Polieren

EP1764189 Art B1 29. April 2009

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1764189
Aktenzeichen: EP06120638
Anmeldetag: 14. September 2006
Veröffentlichung: 29. April 2009
Erteilung: 29. April 2009
Rechtsraum: EP
IPC: B24D13/14B24B37/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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