Positiv arbeitende Resistzusammensetzung und Verfahren zur Herstellung von Mustern unter Verwendung dieser Zusammensetzung

EP1764649 Art B1 12. November 2014

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1764649
Aktenzeichen
EP06019676
Anmeldetag
20. September 2006
Veröffentlichung
12. November 2014
Erteilung
12. November 2014
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/004G03F7/039G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIFILM Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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