Strukturierung mittels rekursiver Spacertechnik
EP1764827
Art A1
21. März 2007
Anmelder: IMEC, INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC) 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1764827
- Aktenzeichen
- EP05447285
- Anmeldetag
- 19. Dezember 2005
- Veröffentlichung
- 21. März 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/336H01L29/786H01L21/027
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- IMEC
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC) - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
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