Verfahren zum Ablagern, Freigeben und Kapseln Mikroelektromechanischer Einrichtungen auf Wafer-Substraten

EP1766663 Art A1 28. März 2007

Anmelder: Texas Instruments Incorporated, TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1766663
Aktenzeichen
EP03817376
Anmeldetag
11. Juni 2003
Veröffentlichung
28. März 2007
Rechtsraum
EP
IPC
G02B26/08B81B7/00B81C1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Texas Instruments Incorporated
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Texas Instruments

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Dallas (Texas). Entwickelt und fertigt analoge und eingebettete Halbleiterprodukte, Prozessoren sowie Schaltkreise für Industrie, Automobil- und Konsumelektronik.

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