Reaktive Fluidsysteme zum Entfernen von Ablagerungsmaterialien und Benutzungsverfahren dafür
EP1766669
Art A1
28. März 2007
Anmelder: BATTELLE MEMORIAL INSTITUTE, LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1766669
- Aktenzeichen
- EP05749663
- Anmeldetag
- 13. Mai 2005
- Veröffentlichung
- 28. März 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311H01L21/321H01L21/3213C11D11/00B24B53/007
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- BATTELLE MEMORIAL INSTITUTE
LAM RESEARCH CORPORATION - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Battelle Memorial Institute
Gemeinnützige US-amerikanische Forschungsorganisation mit Sitz in Columbus, Ohio, die angewandte Forschung und Entwicklung in Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.
1.321 Patente in unserer Datenbank
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Brown, Fraser Gregory James
London, Großbritannien
368
Patente gesamt
31
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte