Hybride Epitaxie-Unterlage und Herstellungsverfahren dafür

EP1766676 Art A1 28. März 2007

Anmelder: S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1766676
Aktenzeichen
EP05775231
Anmeldetag
2. Juni 2005
Veröffentlichung
28. März 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762C30B33/00C30B29/36C30B29/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies

S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies war ein französischer Hersteller von Silizium-auf-Isolator-Wafern für die Halbleiterindustrie, das heutige Unternehmen firmiert als Soitec. Der Patentbestand konzentriert sich fast ausschließlich auf Halbleiterbauelemente und Waferbondverfahren.

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