Verfahren zur Herstellung einer Nanostruktur und Nanostruktur

EP1767491 Art A1 28. März 2007

Anmelder: Riken 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1767491
Aktenzeichen: EP05751208
Anmeldetag: 8. Juni 2005
Veröffentlichung: 28. März 2007
Rechtsraum: EP
IPC: B82B3/00C01B33/12H01L21/027G03F7/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Riken
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 RIKEN

Japanische staatliche Forschungseinrichtung mit Sitz in Wako bei Tokio, aktiv in Physik, Chemie, Biologie und Ingenieurwissenschaften mit zahlreichen Forschungszentren.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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