Belichtungsvorrichtung, Belichtungsverfahren und Verfahren zur Herstellung eines Bauelementes
EP1768169
Art B9
6. März 2013
Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1768169
- Aktenzeichen
- EP05745697
- Anmeldetag
- 3. Juni 2005
- Veröffentlichung
- 6. März 2013
- Erteilung
- 6. März 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NIKON CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
5.286 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Wiebusch, Manfred
Bielefeld, Deutschland
247
Patente gesamt
28
Fachgebiete
10
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Schwerpunkte