Belichtungsgeräte, Belichtungsverfahren und Bauelemente-Herstellungsverfahren
EP1768170
Art A1
28. März 2007
Anmelder: Nikon Corporation, Nikon Engineering Co., Ltd., NIKON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1768170
- Aktenzeichen
- EP05748898
- Anmeldetag
- 9. Juni 2005
- Veröffentlichung
- 28. März 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Nikon Corporation
Nikon Engineering Co., Ltd.
NIKON CORPORATION - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
3.320 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Wiebusch, Manfred
Bielefeld, Deutschland
247
Patente gesamt
28
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München