Belichtungsvorrichtung und Bauelementeherstellungsverfahren
EP1768171
Art A1
28. März 2007
Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1768171
- Aktenzeichen
- EP05748985
- Anmeldetag
- 8. Juni 2005
- Veröffentlichung
- 28. März 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Nikon Corporation
NIKON CORPORATION - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Fachgebiete
Vertreten von
Wiebusch, Manfred
Bielefeld, Deutschland
247
Patente gesamt
28
Fachgebiete
10
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München