Poliervorrichtung und Substratverarbeitungsverfahren

EP1771279 Art B1 10. Dezember 2008

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1771279
Aktenzeichen: EP05767245
Anmeldetag: 21. Juli 2005
Veröffentlichung: 10. Dezember 2008
Erteilung: 10. Dezember 2008
Rechtsraum: EP
IPC: B24B37/04B24B49/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von

Wagner, Karl H München, Deutschland

2.990

Patente gesamt

33

Fachgebiete

17

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Nachrichtentechnik & Telekommunikation Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Akustik, Musik & Datenspeicherung

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