Fluidabgabeeinrichtung
EP1771875
Art B1
27. Januar 2010
Anmelder: Lam Research AG, SEZ AG 🇦🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1771875
- Aktenzeichen
- EP05767970
- Anmeldetag
- 5. Juli 2005
- Veröffentlichung
- 27. Januar 2010
- Erteilung
- 27. Januar 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00B05B7/06B05B15/04B05B7/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Lam Research AG
SEZ AG - Land
- 🇦🇹 Österreich
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte