Ti, Ta, Hf, Zr und zugehörige Metallsiliziumamiden zur ALD/CVD von Metall-Silizium-Nitriden, Oxiden oder Oxynitriden
EP1772460
Art B1
25. März 2009
Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1772460
- Aktenzeichen
- EP06255104
- Anmeldetag
- 3. Oktober 2006
- Veröffentlichung
- 25. März 2009
- Erteilung
- 25. März 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C07F7/00C07F9/00C07F11/00C23C16/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
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Vertreten von
Hatt, Anna Louise
London, Großbritannien
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