Echtzeit-Polierprozessüberwachung
EP1773541
Art A1
18. April 2007
Anmelder: CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1773541
- Aktenzeichen
- EP05759837
- Anmeldetag
- 10. Juni 2005
- Veröffentlichung
- 18. April 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B37/04B24B49/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Cabot Microelectronics
Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.
290 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Johnson, Yvonne Catherine
Birmingham, Großbritannien
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16
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