Polierverfahren für ein Wolframhaltiges Substrat
EP1773959
Art B1
7. November 2007
Anmelder: CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1773959
- Aktenzeichen
- EP05760404
- Anmeldetag
- 10. Juni 2005
- Veröffentlichung
- 7. November 2007
- Erteilung
- 7. November 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C09G1/02H01L21/321C09K3/14C23F3/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Cabot Microelectronics
Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.
290 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Johnson, Yvonne Catherine
Birmingham, Großbritannien
468
Patente gesamt
34
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte