System und Verfahren zur Verbesserung von Ausrichtung und Overlay für die Mikrolithographie
EP1774407
Art B1
9. August 2017
Anmelder: Board of Regents, The University of Texas System, Board of Regents, The University Of Texas System 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1774407
- Aktenzeichen
- EP05756484
- Anmeldetag
- 2. Juni 2005
- Veröffentlichung
- 9. August 2017
- Erteilung
- 9. August 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F9/00G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Board of Regents, The University of Texas System
Board of Regents, The University Of Texas System - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of Texas System
US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.
2.504 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Ponzellini, Gian-Marco
Milano, Italien
350
Patente gesamt
29
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Ponzellini, Gianmarco
NoneMilano
-
Sutto, Luca
NoneMilano
-
Kirschner, Klaus Dieter
NoneMünchen
-
Uexküll & Stolberg
Uexküll & Stolberg · Hamburg