Herstellungsverfahren für eine Mehrschichtige Struktur mit Trennschicht

EP1774579 Art B1 16. Mai 2012

Anmelder: Soitec, S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies, Bruel, Michel 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1774579
Aktenzeichen
EP05773255
Anmeldetag
20. Mai 2005
Veröffentlichung
16. Mai 2012
Erteilung
16. Mai 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/324H01L21/762H01L21/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Soitec
S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies
Bruel, Michel
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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