Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Perfluoroverbindungen enthaltenden Gasen
EP1775012
Art A3
4. Juli 2007
Anmelder: HITACHI, LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1775012
- Aktenzeichen
- EP06014586
- Anmeldetag
- 23. November 2000
- Veröffentlichung
- 4. Juli 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01D53/70B01D53/68B01D53/86
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- HITACHI, LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi
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