Nanometrischer, mechanischer Oszillator, Herstellungsverfahren dafür und Messvorrichtung damit
EP1775258
Art A1
18. April 2007
Anmelder: Japan Science and Technology Agency 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1775258
- Aktenzeichen
- EP07000437
- Anmeldetag
- 11. Juli 2000
- Veröffentlichung
- 18. April 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81B3/00B81C1/00G01P15/00G11B9/14H01L29/84G12B21/20
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Japan Science and Technology Agency
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Japan Science and Technology Agency
Japanische staatliche Förderorganisation für Wissenschaft und Technologie, die Forschungsprojekte finanziert und den Technologietransfer zwischen Universitäten und Industrie unterstützt. Die Behörde untersteht dem japanischen Bildungsministerium.
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Vertreten von
Hoarton, Lloyd Douglas Charles
München, Deutschland
1.651
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