Beschichtungsanlage und Verfahren zum Betrieb einer Beschichtungsanlage

EP1775353 Art B1 8. Oktober 2008

Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1775353
Aktenzeichen: EP05020153
Anmeldetag: 15. September 2005
Veröffentlichung: 8. Oktober 2008
Erteilung: 8. Oktober 2008
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/35C23C14/56H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials GmbH & Co. KG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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