Cantilever-Array, Verfahren zur Herstellung des Arrays sowie Rastersondenmikroskop, Gleitvorrichtung eines Führungs- und Rotationsmechanismus, Sensor, Homodyn-Laser-Interferometer und Laser-Dopplerinterferometer mit Funktion zur Lichtanregung der Probe unter Verwendung des Arrays und Cantilevers
EP1775569
Art A3
29. August 2007
Anmelder: Japan Science and Technology Agency 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1775569
- Aktenzeichen
- EP07002542
- Anmeldetag
- 12. Juni 2002
- Veröffentlichung
- 29. August 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N13/16G12B21/08G12B21/02G12B21/22
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Japan Science and Technology Agency
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Japan Science and Technology Agency
Japanische staatliche Förderorganisation für Wissenschaft und Technologie, die Forschungsprojekte finanziert und den Technologietransfer zwischen Universitäten und Industrie unterstützt. Die Behörde untersteht dem japanischen Bildungsministerium.
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Vertreten von
Hoarton, Lloyd Douglas Charles
München, Deutschland
1.651
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