Verfahren zur Barriereschichtoberflächenbehandlung zur Ermöglichung der Direkten Verkupferung auf Barrieremetall

EP1778896 Art A1 2. Mai 2007

Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1778896
Aktenzeichen
EP05758773
Anmeldetag
7. Juni 2005
Veröffentlichung
2. Mai 2007
Rechtsraum
EP
IPC
C25D5/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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