System und Verfahren zur Kalibrierung einer Flussvorrichtung
EP1779073
Art A1
2. Mai 2007
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1779073
- Aktenzeichen
- EP05785769
- Anmeldetag
- 12. August 2005
- Veröffentlichung
- 2. Mai 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01F25/00G05B15/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Meier, Christof
Stuttgart, Deutschland
44
Patente gesamt
14
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte