Vorrichtung zur Oberflächenmikrostruktierung

EP1779200 Art A1 2. Mai 2007

Anmelder: Ecole Normale Superieure Sciences De Lyon, CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE -CNRS-, CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1779200
Aktenzeichen
EP05783993
Anmeldetag
1. Juli 2005
Veröffentlichung
2. Mai 2007
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Ecole Normale Superieure Sciences De Lyon
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE -CNRS-
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS)
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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