Mems-Vorrichtung und Interposer und Verfahren zur Integration von Mems-Vorrichtung und Interposer

EP1779413 Art A2 2. Mai 2007

Anmelder: THE CHARLES STARK DRAPER LABORATORY, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1779413
Aktenzeichen
EP05857281
Anmeldetag
13. Juli 2005
Veröffentlichung
2. Mai 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/58H01L29/84B81B7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
THE CHARLES STARK DRAPER LABORATORY, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 The Charles Stark Draper Laboratory

Das Charles Stark Draper Laboratory ist eine gemeinnützige US-amerikanische Forschungseinrichtung mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, spezialisiert auf Navigations-, Sensor- und Biotechnologie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Medizintechnik, ergänzt durch Pharma- und Halbleitertechnik. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

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