Verfahren und Vorrichtung zur Reduktion der Ausgangslichtkohärenz eines Gasentladungslasers

EP1779481 Art B1 21. August 2019

Anmelder: Cymer, LLC, Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1779481
Aktenzeichen
EP05762327
Anmeldetag
17. Juni 2005
Veröffentlichung
21. August 2019
Erteilung
21. August 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G01B9/02H01S3/22G02B5/04G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Cymer, LLC
Cymer, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
Vertreten von
Bertram, Rainer München, Deutschland
20
Patente gesamt
16
Fachgebiete
4
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Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Medizintechnik & Gesundheit Maschinenelemente & Fluidtechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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