Auf einem neutralen Verhalten des Filtermaterials basierendes Filtersystem
EP1779914
Art A1
2. Mai 2007
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1779914
- Aktenzeichen
- EP07102381
- Anmeldetag
- 12. Januar 2001
- Veröffentlichung
- 2. Mai 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01D37/00B01D39/00B01D37/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
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Henkel, Feiler & Hänzel
Henkel, Feiler & Hänzel · München