Verfahren und Vorrichtung zum schleifen der Rückseite eines Halbleiterwafers

EP1779969 Art B1 7. Januar 2009

Anmelder: TOKYO SEIMITSU CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1779969
Aktenzeichen
EP06123110
Anmeldetag
27. Oktober 2006
Veröffentlichung
7. Januar 2009
Erteilung
7. Januar 2009
Rechtsraum
EP
IPC
B24B7/22B24B49/02B24B49/12B24B1/00B24B41/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOKYO SEIMITSU CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Seimitsu

Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.

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