PECVD-Verfahren mit Leistungsmodulation

EP1780304 Art A3 18. November 2009

Anmelder: Applied Materials, Inc., Applied Films Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1780304
Aktenzeichen
EP06022262
Anmeldetag
25. Oktober 2006
Veröffentlichung
18. November 2009
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/515C23C16/30H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Applied Materials, Inc.
Applied Films Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

10.783 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Buchhold, Jürgen Frankfurt am Main, Deutschland
341
Patente gesamt
31
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Kunststoff- & Polymertechnik Hochbau & Gebäudetechnik Medizintechnik & Gesundheit Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Zum Anwaltsprofil
Weitere Vertreter

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen