Unterschicht-Filmbildungszusammensetzung für die Lithographie mit einem Naphthalinring mit Halogenatom
EP1780600
Art B1
26. Februar 2014
Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1780600
- Aktenzeichen
- EP05765125
- Anmeldetag
- 24. Juni 2005
- Veröffentlichung
- 26. Februar 2014
- Erteilung
- 26. Februar 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/11C08F12/14C08F216/06C08F216/14C08F220/28H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nissan Chemical Industries, Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nissan Chemical Corporation
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.
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Vertreten von
Siegert, Georg
München, Deutschland
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Patente gesamt
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Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München