Entwicklerflüssigkeit für ein Halbleiterbauelement, Entwicklungsverfahren und Vorrichtung zum Herstellen von Halbleitern
EP1780778
Art A1
2. Mai 2007
Anmelder: TOHOKU UNIVERSITY, Stella Chemifa Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1780778
- Aktenzeichen
- EP05757755
- Anmeldetag
- 11. Juli 2005
- Veröffentlichung
- 2. Mai 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/306
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOHOKU UNIVERSITY
Stella Chemifa Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tohoku University
Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Glawe, Delfs, Moll
Glawe Delfs Moll · Hamburg