Batch-Erzeugungsvorrichtung, Substratverarbeitungssystem, Batch-Erzeugungsverfahren, und Speichermedium

EP1780784 Art A3 6. Juli 2011

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1780784
Aktenzeichen: EP06022531
Anmeldetag: 27. Oktober 2006
Veröffentlichung: 6. Juli 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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