Verfahren zur Abscheidung mindestens einer Silizium enthaltenden Schicht auf eine elektrisch leitende Schicht

EP1780803 Art A1 2. Mai 2007

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO, Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1780803
Aktenzeichen
EP05077474
Anmeldetag
28. Oktober 2005
Veröffentlichung
2. Mai 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L31/18H01L21/208
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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