Verfahren zur Herstellung von Kristallinem Silizium

EP1782459 Art A2 9. Mai 2007

Anmelder: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1782459
Aktenzeichen
EP04810047
Anmeldetag
26. Oktober 2004
Veröffentlichung
9. Mai 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/335H01L21/76H01L21/84H01L21/00H01L21/36H01L21/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 California Institute of Technology

Private Forschungsuniversität in Pasadena, Kalifornien (USA), mit Schwerpunkt auf Naturwissenschaften und Ingenieurwesen. Sie betreibt unter anderem das Jet Propulsion Laboratory und zählt zu den weltweit führenden Technikhochschulen.

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