System und Verfahren zum Reinigen und Ätzen eines Substrats
EP1782461
Art A2
9. Mai 2007
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1782461
- Aktenzeichen
- EP05762857
- Anmeldetag
- 23. Juni 2005
- Veröffentlichung
- 9. Mai 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/461H01L27/01B08B7/04C23C14/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Wombwell, Francis
Birkenhead, Großbritannien
789
Patente gesamt
31
Fachgebiete
18
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Schwerpunkte