Hochmolekulare Verbindung, Säuregenerator, Positivresistzusammensetzungen und Verfahren zur Herstellung von Resiststrukturen
EP1783148
Art B1
10. Juni 2009
Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1783148
- Aktenzeichen
- EP05765320
- Anmeldetag
- 1. Juli 2005
- Veröffentlichung
- 10. Juni 2009
- Erteilung
- 10. Juni 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C08F220/38C08F220/22G03F7/039H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Ohka Kogyo
Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
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Vertreten von
Portal, Gérard
Paris, Frankreich
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