Optisches Projektionssystem, Belichtungsvorrichtung und Belichtungsverfahren
EP1783525
Art A1
9. Mai 2007
Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1783525
- Aktenzeichen
- EP05766167
- Anmeldetag
- 22. Juli 2005
- Veröffentlichung
- 9. Mai 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B13/24G03F7/20H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NIKON CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
5.286 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Wiedemann, Peter
München, Deutschland
391
Patente gesamt
32
Fachgebiete
20
Anmelder-Länder
Schwerpunkte