Halbdurchlässiger Film, Fotomaskenrohling und Fotomaske

EP1783546 Art B1 5. März 2014

Anmelder: HOYA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1783546
Aktenzeichen: EP05749063
Anmeldetag: 10. Juni 2005
Veröffentlichung: 5. März 2014
Erteilung: 5. März 2014
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/027// G03F1/54G03F1/26G03F1/34G03F1/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HOYA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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