Belichtungsgeräte

EP1783554 Art A1 9. Mai 2007

Anmelder: TOHOKU UNIVERSITY, Nihon Ceratec Co., Ltd., TAIHEIYO CEMENT CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1783554
Aktenzeichen
EP05751379
Anmeldetag
16. Juni 2005
Veröffentlichung
9. Mai 2007
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20H01L21/027H01L21/68
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
TOHOKU UNIVERSITY
Nihon Ceratec Co., Ltd.
TAIHEIYO CEMENT CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tohoku University

Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.

837 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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