Siliziumcarbid-Einkristall und Verfahren zu Seiner Ätzung

EP1783825 Art A1 9. Mai 2007

Anmelder: TOYO TANSO CO., LTD., MITSUI TAKEDA CHEMICALS, INC., SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1783825
Aktenzeichen: EP05758208
Anmeldetag: 6. Juli 2005
Veröffentlichung: 9. Mai 2007
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/04C30B29/36C30B33/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOYO TANSO CO., LTD.
MITSUI TAKEDA CHEMICALS, INC.
SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Osaka Cement

Sumitomo Osaka Cement ist ein japanisches Unternehmen, das neben klassischer Zementproduktion auch elektronische und optische Materialien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch anorganische Chemie und Werkstoffe. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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